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品牌介绍

王经理 13261731718

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产品详情

DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等离子清洗机产品简介：

设备简介：

1、真空腔

采用进口材料制作而成，焊接无漏气，*优化 8 层电*设计合理利用空间，专业等离子发生方式，绝缘可靠良好。

2、射频电源

*全可靠的射频电源(13.56MHz)，为等离子的产生提供保障。

3、真空泵

快速静音抽真空系统设计，真空度可至 10pa 以内，保证设备使用的各个需求压力。

4、控制系统

PLC+触摸屏自动控制系统设计，方便客户使用和操作。

5、流量控制系统

专业闭环流量控制系统，保证工艺气体的准确，确保等离子的效果的稳定。

装机前准备：

1、压缩空气：≥0.5mpa，ø6mm PU 管

2、工艺气体：AR&O2(纯度：≥99.999%)0.15～0.25mpa，ø6mm PU 管

3、废气排放：ø50mm 接口

4、主电源：≥ 4mm2 电源线(三相五线)，5.7KW Main

设备工作流程：

1、真空抽取：将产品放置腔体内，关上腔体门，打开真空泵，将真空腔内气压从常压抽至 30pa(自行设置)以内;

2、添加工艺气体：将准确流量的工艺气体添加至真空腔室内，均匀分布;

3、产生等离子：射频电源提供能量电离真空腔内的工艺气体，形成等离子体;

4、产品处理：根据设置时间处理产品的等离子处理时间;

5、破真空：产品处理完成后，打开破真空电磁阀，将真空腔压力恢复至常压取出产品。

DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等离子清洗机技术参数：

名称（Name）		Vacuum Plasma system真空等离子清洗机
型号（Model）		DSX- VPD-8L-S
技术参数(Technical Parameter)				备注(Remarks)
1	控制系统 (Control system)		PLC+HMI	Mitsubishi
2	真空泵 Vacuum Pump		旋片式真空泵 Rotary vacuum pump	TVP
3	等离子发生系统 Plasma generator		射频电源 0-1000w+全网络自动匹配器 RF Power 13.56MZH 1000W + Matching network	KVMEN
4	真空监控系统Vacuum Guage		皮拉尼电阻式真空计 Pirani resistance vacuum gauge	Ulvac
5	气体流量控制系统Mass Flow Control		质量流量控制器 MFC control system	ETON
6	气体控制系统 Gas control system		二通电磁阀控制 2 Channel solenoid valve control	SMC
7	抽真空控制系统Vacuum output control		高真空气动挡板阀 GDW-KF40 Hi-level vacuum pneumatic flapper valve GDW-KF40	ISO standard
8	破真空控制系统Vacuum breaking control		高真空气动挡板阀 GDW-KF16 Hi-level vacuum pneumatic flapper valve	ISO standard
9	电*层数 Electrode Layer		水平电*板 8 层(层数可选) 8 Layers of horizontal electrode plate（Option）	AL6061-L
10	有效处理面积 Effective treatment area		300mm（D）*400mm（W）	Option
11	工艺气体通道 Process gas channel		两路工作气体可选择：AR O2 N2 H2 CF4 等 2 channels process gases option: AR O2	Option
12	腔体规格 Chamber Size		450mm(W)450mm(D)400mm(H)	AL-6061-L
13	整机外形尺寸 Layout Size		995mm（W）1085mm（D）1750mm（H）

名称（Name）		Vacuum Plasma system
型号（Model）		DSX-VPO-8L-S
技术参数(Technical parameters)				备注Remarks
1	设备电源Power supply		3P : 380VAC 50/60Hz
2	设备功率Power KW		5.7KW
3	工作真空度 Working vacuum point		10-100Pa
4	抽真空时间 Vacuum output time		≤100s
5	破真空时间 Vacuum breaking time		≤30s
6	射频电源功率 RF Power KW		0-1000W
7	机台重量Weight		≤500KG
8	质量流量控制系统 MFC Range		0-200sccm
9	操作方式 Mode of operation		全自动运行系统，一键启动 Fully auto operation system, One-key starting