美国ALICAT MCE & MCV 系列数字式质量流量控制器(真空型)

美国ALICAT  MCE & MCV 系列数字式质量流量控制器(真空型)产品简介：

MCE系列设计用于取代老化陈旧或性能不佳的热式流量控制器。设备结构、安装模式、功能等无任何差异，方便用户快速、简易地进行替换，并可定制引脚分配使之与用户端的控制系统兼容，封闭式阀门设计更是符合半导体行业国际标准，很大量程：0-20 slpm，另有316L不锈钢结构的耐腐蚀系列(MCES)可选。

Alicat 的 MCE 系列流量控制器可精控制过程气 体的质量流量、体积流量和压力，功能与匹配性与其它品牌无 异，依照 SEMI 国际标准，将后置式高速比例控制阀置于流量 本体内。

美国ALICAT  MCE & MCV 系列数字式质量流量控制器(真空型)产品简介：

设计用于高真空应用的MCV系列是在上述MCE系列的基础上另增加一集成式气动截止阀，有效杜绝设定值为零时气体进入真空腔体，很大量程：0-20 slpm，另有316L不锈钢结构的耐腐蚀系列(MCVS)可选。

Alicat 的 MCV 系列流量控制器适用于高真空应用， 在 MCE 后增加一个集成式正向切断阀，其氦气泄漏率仅为 1x10-9 atm-scc/s，有效地杜绝了污染物进入。

Alicat 的 MCE & MCV 系列质量流量控制器采用专有的内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体 仍旧保持层流运动，充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行 修正。

Alicat 的 MCE & MCV 系列质量流量控制器带有集成式多功能数字显示屏，用户仅通过屏幕按钮操作便可控 制设定值及 PID 阀门调节。很高可达 0.4%的精度、0.2%的重复性及不到 100 毫秒的控制响应时间很大程度 优化了气体控制过程，同时开放模拟通讯和 RS-232 数字通讯模式。另有各类定制化选项供特殊项目需求， 如：用于危险环境的 ATEX(欧洲)1 类 2 区和 CSA(美国)1 类 2 区认证产品等。

美国ALICAT  MCE & MCV 系列数字式质量流量控制器(真空型)产品应用：

Alicat 的 MCE & MCV 系列质量流量控制器(真空型) 广泛应用于须遵守 SEMI 标准的应用，如：半导体、真 空镀膜等。MCE 系列质量流量控制器尤其适用于低真空应用，MCV 系列则适用高真空。多变量测量与控 制、多种气体标定以及 200:1 量程可调比使得仅用一台 Alicat 质量流量控制器便可取代多台设备的功效。

MCE & MCV 质量流量控制器(真空型)可测量与控制从 0-0.5 sccm 到 0-20 slpm 的满量程的任何流量。

美国ALICAT  MCE & MCV 系列数字式质量流量控制器(真空型)参数：

0 – 0.5 sccm 满量程到 0 – 20 slpm 满量程

艾里卡特®MCV 系列 质量流量控制器专门设计用于要求严密切断的应用，例如真空镀膜、喷 镀工艺，其集成式气动切断阀可提供氦气泄漏率仅为 1 x 10 -9 atm scc/sec 的正向切断 MCVS 系列适用于腐蚀性气体。

精度(调零后标准条件下)： ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S)

高精度选配(调零后标准条件下)：±(0.4%Rdg + 0.2%F.S)满量程 5SCCM 以下设备无高精度

重复性： ±0.2% F.S

零点漂移&满量程漂移： 0.02% F.S / ºC / Atm

工作范围 / 量程可调比：MCV 系列质量流量控制器 0.5% ～ 100 F.S / 200:1 ；MCVS 系列质量流量控制器 1% ～ 100 F.S / 100:1

很大可控流量： 102.4% F.S

典型响应时间： 100 毫秒(可调整)

启动预热时间： < 1 秒

阀门泄漏率： 不超过 1 x 10-9 atm scc/sec (氦检)

标准工况： (STP) 25ºC & 14.696 psia、20ºC & 14.696 psia、0ºC & 14.696 psia (三种工况供切换)

工作温度： −10 ~ +50 ºC

工作湿度范围 (非冷凝) ：0 ～ 100

内部很大工作压力(静压)： 145 psig

很限压力： 175 psig

对安装方式/方向的要求： 无

阀门状态： 阀门常闭

防护等级 ：IP40

材质 ：CV: 316L,303 & 302 不锈钢, Viton®, 硅胶 RTV (橡胶), 玻璃增强尼龙, 铝 , 黄铜, 430FR 不锈钢, 硅, 玻 璃, PCTFE。

          MCVS: 标准采用 316LSS, 303SS, 430FRSS, FFKM (Kalrez), 可根据特殊气体选用 Viton, EPDM, Buna, Neoprene。