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日本Horiba

王经理 13261731718

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产品详情

日本Horiba STEC SEC-E50MK3气体质量流量控制器适合于定流量、长时间的稳定控制重复控制的场合。而且也同样适用于研究所的简易流量控制。

日本Horiba STEC SEC-E50MK3气体质量流量控制器产品简介：

MARK3系列是在未改变质量流量控制器所须的品质特性的条件下*底实现成本降低的量产产品。材质和泄漏規格则与一般型号产品的SEC-400、SEC-500系列完全一致。主要用途为制程用的气体流量控制、根据关注于重复性以及限定气体的种类、流量进行大量生产、实现了大幅度的成本降低。适合于定流量、长时间的稳定控制重复控制的场合。而且也同样适用于研究所的简易流量控制。

日本Horiba STEC SEC-E50MK3气体质量流量控制器产品特征：

具有广泛的用途

追求成本优势、实现成本降低

日本Horiba STEC SEC-E50MK3气体质量流量控制器技术参数：

型号	SEC- (质量流量控制器)	E40/E40MK3	E50/E50MK3
	SEF- (质量流量计)	E40	E50
适用气体种类*1		非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)
气体接触部材质		SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢
阀门型号		非通电时关闭
标准流量量程 (N2相应F.S.)		10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM	20/30 SLM
流量控制范围 (适于SEC系列)		2?100% F.S.
流量测量范围 (适于SEF系列)		0?100% F.S.
响应速度		1秒以内(T98)
流量精度		±1% F.S.
直线性		±0.5% F.S.
反复性		±0.2% F.S.
工作差压值值 (适于SEC系列)		10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)?10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用压力 (适于SEF系列)		300kPa(G)以下
耐压		1MPa(G)以下
外部泄漏率		1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用环境温度		5?50℃(精度的确保：15?35℃)
流量设定信号		0.1?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.
流量输出信号		0?5VDC(很小负荷电阻2kΩ)
驱动电源		+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA	＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA
标准接头*2		1/4SWL 类型