日本Horiba STEC LE系列高温大流量液体汽化器

日本Horiba STEC LE系列高温大流量液体汽化器基于合理的内部结构设计，和*效热传导材料的使用，LE可实现*效、大流量的液体汽化，可防治液体凝结。

日本Horiba STEC LE系列高温大流量液体汽化器产品简介：

基于合理的内部结构设计，和*效热传导材料的使用，LE可实现*效、大流量的液体汽化，可防治液体凝结。较高操作温度可打300℃，IPA汽化量可达30g/min(或等价)。

日本Horiba STEC LE系列高温大流量液体汽化器产品特点：

创新设计实现较大汽化率

新的喷射器嘴确保持续不断稳定汽化

全不锈钢设计，很大程度的避免腐蚀及减少颗粒物生产

支持多种液体源汽化

日本Horiba STEC LE系列高温大流量液体汽化器规格参数：

已应用液体源：H2O/IPA/TEOS/SICL4

很大汽化量(气体流量)：

H2O:10g/min (12.4 SLM)

IPA：30g/min (11.1 SLM)

TEOS:50g/min(5.3 SLM)

SiCl4：130g/min(17.1 SLM)