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王经理 13261731718

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产品详情

日本Horiba STEC LF/LV微小液体质量流量计/控制器是世界上初次采用了冷却检测方式的流量传感器。

日本Horiba STEC LF/LV微小液体质量流量计/控制器产品简介：

搭载有世界上初次采用了冷却检测方式的流量传感器

日本Horiba STEC LF/LV微小液体质量流量计/控制器产品特点：

通过采用数字回路，实现了高精度、高速响应。

可以进行微升以上的微小流量控制。

可以进行低沸点液体材料、高粘度液体材料的精细流体控制。

超洁净类型

日本Horiba STEC LF/LV微小液体质量流量计/控制器技术参数：

名称质量流量计型号LF-F20M-ALF-F30M-ALF-F40M-ALF-F50M-ALF-F60M-A

全标度流量(g/min)	0.02/0.05/0.1	0.2/0.5		1/2/5		10/20	50/100
检测控制范围	5??100% F.S.
对象液体种类 *1	可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。
液体粘度 *2	很大值. 0.1 Pa·s (100cp)
精度 *3	±1% F.S.
直线性 *3	±0.5% F.S.
重复性 *3	±0.5% F.S.
响应精度	3秒以内 (T98)		2秒以内 (T98)
使用环境温度 *4	5??50℃ (15 ?? 45℃精度的确保)
温度影響 Span	±0.1%F.S./℃　很大值±1%
工作差压值值 *5	很大值. 5MPa (视为流量计) / 50??300kPa (with piezo 控制阀)
耐压	10MPa (视为流量计)
压力損失	很大值. 500Pa
流量设定信号	模拟：0.25??5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式：RS485(F-Net通信协议)
流量输出信号	模拟：0??5 VDC(很小负荷电阻2kΩ) 数字式：RS485(F-Net通信协议)
驱动电源	+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA
外部泄漏规格	5×10-12Pa·m3/s (He)
接液部材质	SUS316L, Ni
标准接头	1/16”， 1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型				1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型		1/4” SWL类型 1/4” VCR 类型

名称质量流量控制器型号LV-F20 (PO/MO)LV-F30 (PO/MO)LV-F40 (PO/MO)LV-F50 (PO/MO)LV-F60 (PO/MO)

全标度流量(g/min)	0.02/0.05/0.1	0.2/0.5		1/2/5		10/20		50/100
检测控制范围	5??100% F.S.
对象液体种类 *1	可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。
液体粘度 *2	很大值. 0.01 Pa·s (10cp)
精度 *3	±1% F.S.
直线性 *3	±0.5% F.S.
重复性 *3	±0.5% F.S.
响应精度	3秒以内 (T98)		2秒以内 (T98)
使用环境温度 *4	5??50℃ (15 ?? 45℃精度的确保)
温度影响Span	±0.1%F.S./℃　很大值±1%
工作差压值 *5	0.05??0.3MPa
耐压	1MPa
压力损失	ー
流量设定信号	模拟：0.25??5 VDC(输入阻抗1MΩ以上) 数字式：RS485(F-Net通信协议)
流量输出信号	模拟：0??5 VDC(很小负荷电阻2kΩ) 数字式：RS485(F-Net通信协议)
驱动电源	+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA
外部泄漏规格	PO 类型：1×10-8Pa•m3/s (He) MO 类型： 5×10-12Pa•m3/s (He)
接液部材质	PO 类型：SUS316L， Ni， PTFE， PFA　MO 类型： SUS316L，Ni
标准接头	1/16” ， 1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型				1/8 SWL类型， 1/8”VCR 类型		1/4” SWL类型 1/4” VCR 类型

*1：LF-F/LV-F系列质量流量控制器利用1种液体进行了流量校正 (请预先指定所使用的液体。)

不能检测含有固体物的液体。

如果混合液中混合比会发生变化时，请预先进行咨询协商。

LV-F系列质量流量控制器如果在对象液体中含有粒子等时，请在一次端(入口端) 安装0.2μm(Abs.)以下的过滤器。

*2：LF-F类型质量流量控制器根据流量量程，可以适用到较大值， 0.1Pa•s。有关高粘度的液体请预先进行咨询协商。

*3：以SEMI E56-1296 为准。

*4：进行测量??控制的液体温度如果低于环境温度时，使用时请把温差控制在10℃以内;如果高于液体温度时，使用时请把温差控制在3℃以内。

*5：这是在粘度0.001Pa??s中的F.S.流量值。